品才网>生活常识>单晶拉制作业指导书

单晶拉制作业指导书

时间：2022-06-21 19:14:12 生活常识我要投稿

相关推荐

单晶拉制作业指导书

　　一、取单晶准备

　　1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸；

　　2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；

　　3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；

　　二、拆炉取单晶

　　1、待单晶冷却4小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；

　　2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行检漏；

　　3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；

　　4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；

　　5、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；

　　6、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，抓紧重锤，用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，再将重锤升至副室内；

　　三、导流筒.保温盖.锅底料的取出

　　1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩（埚杆扳手）；

　　2、戴好手套及耐高温手套；

　　3、按顺序取出导流筒和保温盖；

　　4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；

　　1、戴好耐高温手套和准备好钳子；

　　2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；

　　3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；

　　四、清理大罐

　　1、准备好毛刷、吸管、专用工具；

　　2、带好手套、防尘口罩；

　　1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；

　　2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；

　　3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；

　　4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；

　　5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；

　　6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；

　　五、管道炉盖的清理

　　1、带口罩、手套；

　　2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布、毛刷、吸尘器管等清扫所需物品；

　　1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；

　　2、安装管道盖时，一定要检查密封圈是否完好、洁净，拧紧螺丝时一定要对角拧紧，以防抽空时漏气。

　　六、小付室的清扫

　　1、打开副炉室门；

　　2、用沾有酒精的无尘纸擦拭小付室的附着物；

　　七、石墨件的清理

　　1、准备好清扫用品（毛刷、无尘纸、氩气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；

　　2、依次用毛刷、吸尘器、无尘纸、清扫石墨件，直至确认无污物；炉内的清理

　　1、准备好毛刷、吸尘器和专用工具；

　　2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；

　　3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；

　　八、安装石墨件

　　1、依次安装石墨件埚杆.埚托.三瓣埚.安装石英埚

　　1、打开石英坩埚包装，对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；

　　2、若无异常，用氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；

　　3、在炉内的石墨埚上装好石英坩埚；装料

　　1、将母合金放入石英坩埚内；

　　2、在埚底平铺小型硅料，然后将大型硅料放在上面；

　　3、在大型硅料之间的间隙里填充小型硅料；

　　4、在大块硅料装完后，再装中型硅料；

　　5、在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；

　　6、最后将硅料堆成锥形状，有利于放导流筒；

　　安装导流筒及保温盖

　　1、装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况；

　　2、清扫周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣；

　　3、确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；炉盖的清扫

　　1、用沾有酒精的无尘纸擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖副室的清扫

　　1、准备好清扫棒、无尘纸、酒精、氩气；

　　2、在清扫棒上缠上沾有酒精的无尘纸，清扫副室内部至上部；

　　3、用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物；

　　4、用沾有酒精的无尘纸认真擦拭重锤及钼夹头，最后用氩气认真吹净；

　　5、按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的无尘纸擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；安装籽晶

　　1、用沾有酒精的无尘纸认真擦拭籽晶，并用氩气吹净；

　　2、把籽晶装在夹头上，装好钼销；

　　3、用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置，关闭副室小门，开始抽空；

　　抽空

　　1. 打开真空泵电源；

　　2. 缓慢打开球阀；

　　3. 抽空后炉内力达＜20Pa时，进行反复充氩气，使炉内压力＜10Pa；

　　4. 关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；

　　加热化料

　　1、抽空完成后，漏率达到要求后，打开真空球阀，打开氩气阀门，设定流量为20升/

　　分，使炉内压力达到1000Pa左右；

　　2、确认单晶炉进水、出水开关打开，并检查各进水分支开关已打开；

　　3、打开加热电源开关；

　　4、根据通过欧陆手动状态的OP功能每半小时，分步增加功率；(10、30、70、90KW) 引晶温度调试

　　1、温度切入自动后，按晶快降，将籽晶降至从主观察窗能看到的位置；

　　2、20分钟后，按晶快降按钮将籽晶降至距液面20mm处预热20分钟；

　　3、降籽晶使之与液面接触，晶转设定为8 转/分，熔接10分钟，根据接触光圈的形状（光

　　圈圆合适，方不合适温度低），确定引颈温度是否合适，若合适开始引颈，若不合适，通过欧陆调整温度20分钟后开始引颈，温度不宜偏低；

　　引晶

　　1、打开晶升电源，计长清零；给定埚转至7 转/分.；

　　2、缓慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，让拉速保持在

　　1.5mm/min----6mm/min之间，引颈直接控制在3mm左右，引颈长度不低于150mm.；

　　3、引晶过程中若温度不适，可进行手到调节温度，但不宜过大；

　　放肩

　　1、引颈达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.7mm/min进行放肩；

　　2、放肩务必要放平肩，放肩时用温校速率来调节温度；

　　转肩

　　1、将肩放到适当直径时，将拉速缓慢提高；

　　2、密切关注单晶的生长速度，适当增减拉速；

　　3、待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速，同时适当给定埚跟随动；

　　转肩结束后，计长清零，实时观察单晶生长情况待其生长稳定后，调整伊尔根，使其压单晶光圈1/3—1/2之间的位置，数字信号大小为350-450左右；

　　4、调整好拉速和温度，将计算机切入等径控制和温度控制自动状态。

　　等径

　　1、计算机切入自动控制后认真作好各项记录；

　　2、等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔15分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，每一个小时做一次拉晶记录；

　　收尾

　　1、当晶体长达到达预定长度或埚内剩料少时，等径和温度自控手动退出，慢慢的降埚跟停止埚升进行收尾；

　　2、要经常检看收尾情况，对拉速和温度做适当调整；

　　3、收尾长度应为晶体直径的大小，收成尖尾后使单晶脱离液面，转入晶体冷却工序；

　　4、单晶脱离液面时，按埚降快速，使之脱离

　　停加热

　　1、收尾完成后，按下埚快降键，下降20mm后确认埚快降停止，不成晶时下降30mm.；

　　2、晶升拉速调整到1.0mm/min，使单晶自动上升；

　　3、欧陆归0；

　　4、调整计算机各参数，使之恢复初始状态

【单晶拉制作业指导书】相关文章：